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LPCVD立式爐管設(shè)備
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半導(dǎo)體集成電路制造的重要設(shè)備之一，主要用于POLY, D-POLY, SiN,LP-TEOS；立式LPCVD采用鐘罩式結(jié)構(gòu)，設(shè)計(jì)嵌套腔體機(jī)械手傳片組件、舟旋轉(zhuǎn)組件，具有占地面積小、成膜均勻性高、工藝穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)。
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