山東力冠微電子裝備

產(chǎn)品展示

聯(lián)系方式

地址：濟(jì)南市槐蔭區(qū)濟(jì)南寬禁帶半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園

電話：15562450816

郵箱：liguan1218@163.com

石墨烯薄膜CVD設(shè)備

◆ 本系統(tǒng)是一套完備的石墨烯制備系統(tǒng),包括硬件和軟件部分 ◆ 工作在常壓氣氛或真空條件，通過控制生長工藝，既可以生長出六邊形的石墨烯單晶，也可以生長出花瓣?duì)畹氖┑膯尉?

石墨烯卷對卷

? 石墨烯薄膜產(chǎn)業(yè)化設(shè)備 ? 寬幅卷對卷連續(xù)生長 ? APC系統(tǒng):真空蝶閥自動控制 ? 碳源等工藝氣體MFC控制 ? 薄膜制備過程全自動控制 ? 三腔室結(jié)構(gòu)

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