山東力冠微電子裝備

產(chǎn)品展示

SiC高溫退火爐

關(guān)鍵詞：

產(chǎn)品 新聞 下載

SiC高溫退火爐

專門用于硅碳化合物(SiC) 的離子激活和退火處理，可實(shí)現(xiàn)SiC片在高溫真空環(huán)境下完成活性工藝； 設(shè)備適用于SiC基功率器件制造中的離子激活和退火工藝環(huán)節(jié)； 加熱腔與工藝腔獨(dú)立密閉設(shè)計(jì)，提供工藝腔的潔凈度；

關(guān)鍵詞：

怎么才能選擇一款適合您的？

讓我們協(xié)助您！

我們的專家盡快與您聯(lián)系，滿足您更多需求。